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設(shè)備配備完整的磁場控制系統(tǒng)，全新的軟控系統(tǒng)、視覺系統(tǒng)，超高精度傳動系統(tǒng)，保證設(shè)備運行過程中精準控制，長期穩(wěn)定運行。

兼容市場所有主流尺寸晶棒生產(chǎn)，最大晶棒尺寸可達26寸。

可針對客戶不同要求，制定熱場結(jié)構(gòu)、磁場配備等不同方案的定制化產(chǎn)品。